◆ 產品規格
◎ 尺寸大小:700~150 X 500~150 mm
◎ 厚度:30um
◎ 孔洞直徑:<80um,精度規格+/- 50um
◆ 應用說明
◎ 應用於真空系統中保持物件和基板之吸附之裝置,靜電吸附盤(E-chuck)。靜電吸附盤(E-chuck)是於電極加電壓使電極和對象物之間產生吸附力量的裝置,規格要求高,故需使用精密蝕刻技術,方能達成。
◆ 產品規格
◎ 尺寸大小:480 X 10 mm
◎ 厚度:250um
◎ 精度規格:+/- 30um
◆ 應用說明
◎ 應用於醫療微創手術器械零件,規格精度要求高,故需使用精密蝕刻技術,方能達成。